1.測(cè)量方式上
	  氣動(dòng)測(cè)量為沒(méi)有測(cè)量力的不接觸式測(cè)量;
	  電感測(cè)量為有微小測(cè)量力的接觸式測(cè)量。
	  2.測(cè)量值
	  氣動(dòng)測(cè)量的一個(gè)小區(qū)域的平均值(氣嘴區(qū)域);
	  電感測(cè)量是測(cè)量工件上的一點(diǎn),測(cè)量的大值。
	  3.測(cè)頭結(jié)構(gòu)
	  
氣動(dòng)測(cè)頭的結(jié)構(gòu)是單零件結(jié)構(gòu),構(gòu)造比較簡(jiǎn)單;
	  電感測(cè)頭的結(jié)構(gòu)是多零件結(jié)構(gòu),構(gòu)造比較復(fù)雜。
	  4.對(duì)能源的需求
	  氣動(dòng)測(cè)量 需要?dú)夂碗姡?br />
	  電感測(cè)量 需要電。
	  5.測(cè)量對(duì)切屑和灰塵的敏感度
	  氣動(dòng)測(cè)量不敏感,因?yàn)椴唤佑|測(cè)量且測(cè)量的是一個(gè)小區(qū)域的平均值;
	  電感測(cè)量敏感,因?yàn)槭墙佑|式測(cè)量且為點(diǎn)接觸測(cè)量,測(cè)量的是大值。
	  6.校準(zhǔn)過(guò)程
	  氣動(dòng)測(cè)量校正規(guī)校準(zhǔn)(雙規(guī)校準(zhǔn));
	  電感測(cè)量 零位較正規(guī)校準(zhǔn)(單規(guī)校準(zhǔn))。
	  7. 重復(fù)精度和測(cè)量不確定度
	  氣動(dòng)測(cè)量相對(duì)較高;
	  電感測(cè)量相對(duì)較低。
	  8.可靠性
	  氣動(dòng)測(cè)量依賴于放大器的精度和環(huán)境條件;
	  電感測(cè)量依賴于測(cè)頭質(zhì)量和環(huán)境條件。
	  9.自動(dòng)化項(xiàng)目選用
	  氣動(dòng)量?jī)x相對(duì)配合間隙較小,需要非標(biāo)測(cè)頭做相應(yīng)倒角并配有浮動(dòng)機(jī)構(gòu);
	  電感量?jī)x相對(duì)配合間隙較大,應(yīng)用相對(duì)容易,對(duì)機(jī)械運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)精度要求相對(duì)較低。