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　　1.測(cè)量方式上
　　氣動(dòng)測(cè)量為沒有測(cè)量力的不接觸式測(cè)量；
　　電感測(cè)量為有微小測(cè)量力的接觸式測(cè)量。
　　2.測(cè)量值
　　氣動(dòng)測(cè)量的一個(gè)小區(qū)域的平均值（氣嘴區(qū)域）；
　　電感測(cè)量是測(cè)量工件上的一點(diǎn)，測(cè)量的大值。
　　3.測(cè)頭結(jié)構(gòu)
　　氣動(dòng)測(cè)頭的結(jié)構(gòu)是單零件結(jié)構(gòu)，構(gòu)造比較簡單；
　　電感測(cè)頭的結(jié)構(gòu)是多零件結(jié)構(gòu)，構(gòu)造比較復(fù)雜。
　　4.對(duì)能源的需求
　　氣動(dòng)測(cè)量 需要?dú)夂碗姡?br /> 　　電感測(cè)量 需要電。
　　5.測(cè)量對(duì)切屑和灰塵的敏感度
　　氣動(dòng)測(cè)量不敏感，因?yàn)椴唤佑|測(cè)量且測(cè)量的是一個(gè)小區(qū)域的平均值；
　　電感測(cè)量敏感，因?yàn)槭墙佑|式測(cè)量且為點(diǎn)接觸測(cè)量，測(cè)量的是大值。
　　6.校準(zhǔn)過程
　　氣動(dòng)測(cè)量校正規(guī)校準(zhǔn)（雙規(guī)校準(zhǔn)）；
　　電感測(cè)量 零位較正規(guī)校準(zhǔn)（單規(guī)校準(zhǔn)）。
　　7． 重復(fù)精度和測(cè)量不確定度
　　氣動(dòng)測(cè)量相對(duì)較高；
　　電感測(cè)量相對(duì)較低。
　　8.可靠性
　　氣動(dòng)測(cè)量依賴于放大器的精度和環(huán)境條件；
　　電感測(cè)量依賴于測(cè)頭質(zhì)量和環(huán)境條件。
　　9.自動(dòng)化項(xiàng)目選用
　　氣動(dòng)量儀相對(duì)配合間隙較小，需要非標(biāo)測(cè)頭做相應(yīng)倒角并配有浮動(dòng)機(jī)構(gòu)；
　　電感量儀相對(duì)配合間隙較大，應(yīng)用相對(duì)容易，對(duì)機(jī)械運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)精度要求相對(duì)較低。